NX系列無(wú)塵機(jī)器人被設(shè)計(jì)為與兩個(gè)或三個(gè)300mm的FOUP配合使用，而不需要使用軌道。NX系列在設(shè)計(jì)上與NS系列類(lèi)似，但是附加的獨(dú)立軸更換了RTZ動(dòng)作設(shè)計(jì)，顯著增加了NX的運(yùn)動(dòng)范圍。

卓越的伸展距離

單個(gè)的NX系列手臂可以達(dá)到2或3個(gè)FOUP而不需要線性軸。該手臂被設(shè)計(jì)為高剛性，以及可以利用窄間距訪問(wèn)晶圓臺(tái)以及FOUP中的任意位置。

高吞吐量

NX系列實(shí)現(xiàn)了利用雙臂機(jī)械手，如NX520，從FOUP到校準(zhǔn)器然后到平臺(tái)200晶圓每小時(shí)（WPH）的吞吐量。

SEMI F47合規(guī)

NX型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。

SEMI S2合規(guī)

NX型號(hào)可以滿(mǎn)足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。

碰撞檢測(cè)

軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專(zhuān)用設(shè)備的損壞。